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1、真空鍍膜機配置1, 真空泵(1臺)又名;滑閥泵。
2、旋片泵。
3、也叫機械泵。
(資料圖片僅供參考)
4、2, 蘿滋真空泵(1臺)3, 油擴散泵(1臺),現在市場上出現分子泵。
5、4, 真空計(1臺),5, 帶手調壓電閥(1臺)6, 電爐(1個)7, 脈沖偏壓(1臺)以前的是直流的。
6、8, 離子源有(6個的,10個,12個,18個)9, 弧源有(6個,10個,12個,18個)10, 真空爐體(1個)11, 低真空閥門有(V1)12, 高真空閥門有(V2,V3,V4)13, V5是放氣閥14, 流量計有(4個)15, 流量計控制儀(1個,同時控制4路氣體)16, 維持泵(1個,抽油擴散泵的)17, 熱電偶(2個。
7、一個是測爐體溫度。
8、一個是測油擴散泵溫度18, 真空泵前面還有一個電磁閥,是擋油的。
9、19, 有的機器帶磁控靶,有時是中頻的,有的是射頻的,有的叫柱狀把,有的叫孿生靶。
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